原子力显微镜表征薄膜粗糙度的测试方法

摘要:我想获得下图中的数据,但是样品太多20个左右,用原子力显微镜测试时间大概多久呀?或者有什么推荐的比较形象的表征薄膜粗糙度的测试方法吗?

Q: 我想获得下图中的数据,但是样品太多20个左右,用原子力显微镜测试时间大概多久呀?担心样品太多给带来麻烦

或者有什么推荐的比较形象的表征薄膜粗糙度的测试方法吗?

A:

  • 粗糙度用原子力显微镜很好测的,因为不需要找特定的区域
  • 台阶仪其实最适合你的样品,你的量程都已经达到10um了,这已经不是样品多少与测试快慢的问题了。你这样的样品去测afm有可能把人家针给干坏了
  • 粗糙度对于原子力是最好测的项目,10分钟可以扫出一张图。理论上纵向起伏不能超过500纳米,但是实际上要小很多,一是要保证图片的质量,二是避免针扫一次就坏掉。所以要是你的样品粗糙度较大的话用台阶仪比较合适

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